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一般来说，废气排放量较大，VOCs浓度较低。半导体工艺过程中有机废气具有排放流量大(通常大于11000m3/h)和浓度低(通常小于25ppmv)的特点，电子工业废气VOCs排放中还含有酸性气体、碱性气体和一些有***体。

挥发性有机物(VOCs)排放量大、浓度低、成分复杂，常见有机废气治理方法如：焚烧、吸附、冷凝、生物膜法、低温等离子、光催化氧化等，单独运用或无法达成经济运行，或不能满足严苛的排放标准。

电子厂废气处理方法

（1）预处理阶段：一般采用喷淋塔先对废气进行预处理，去除粉尘以及易溶于水的***气体。

（2）主要处理阶段：在此阶段，比较常见而有效方法有：UV光解，生物过滤分解，焚烧和催化燃烧等。

这几种方式各有优劣，根据大多数电子厂废气的情况，在这里我们主要推荐和介绍活性炭浓缩+蓄热式催化燃烧系统去除VOCs气体的方案。

废气处理效率计算方法：

举例：

??假如要处理长宽高，都是3米的喷漆房，我们应该如何确定风量呢？ 首先看喷漆房，适合怎样的吸气通风模式。

??一般有三种模式：

??种完全密封式，那么按照上述的计算方式是对的，也就是风量=体积*换气次数，即3*3*3*60=1620m3/h;

??第二种是顶吸风罩，换气次数小为100,冒烟时换气次数小200;

??第三种是侧吸气罩，换气次数小为150,冒烟时换气次数小300.这也是目前沿用比较正确的计算方法。

有机废气 VOC 系统工况数据通过采集程序采集后，数值按照统一带时间标签的存储规约格式，存入工况存储单元。工况服务器按照小采样精度(通常为秒级)将数据地存入工况过程数据库中。通常工况过程数据库能确保工况过程数据长久地保存，以备相关人员随时调阅、比对及分析。工况数据监测软件采用工艺流程图的方式对企业的生产设施、治污设施、有机废气监测设施的运行情况进行实时监控，并可查询、统计监测参数任意时间段内的变化趋势，支持将多个工况参数组合进行对比、分析。工况实时图形界面不但要具备实时显示模拟量的数值变化功能，还要能显示状态量的变化情况。

工况报警查询能够显示设施报警列表、主报警与详细报警之间的关联。通过选择条件，能够搜索出符合条件的报警类型，还可以查询到报警的详细信息，包括规则名称、开始时间、结束时间和报警原因等相关信息。同时系统具备良好的用户权限管理功能，能够对整个系统的底层模块进行基本配置与管理。