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一般来说，废气排放量较大，VOCs浓度较低。半导体工艺过程中有机废气具有排放流量大(通常大于11000m3/h)和浓度低(通常小于25ppmv)的特点，电子工业废气VOCs排放中还含有酸性气体、碱性气体和一些有***体。

挥发性有机物(VOCs)排放量大、浓度低、成分复杂，常见有机废气治理方法如：焚烧、吸附、冷凝、生物膜法、低温等离子、光催化氧化等，单独运用或无法达成经济运行，或不能满足严苛的排放标准。

电子厂废气处理方法

（1）预处理阶段：一般采用喷淋塔先对废气进行预处理，去除粉尘以及易溶于水的***气体。

（2）主要处理阶段：在此阶段，比较常见而有效方法有：UV光解，生物过滤分解，焚烧和催化燃烧等。

这几种方式各有优劣，根据大多数电子厂废气的情况，在这里我们主要推荐和介绍活性炭浓缩+蓄热式催化燃烧系统去除VOCs气体的方案。

活性炭浓缩

即采用活性炭吸附装置来对废气进行浓缩。由于电子厂废气具有风量大，浓度低的特点，而催化燃烧系统在启动运行时，对能源的消耗较大，如果预处理后的气体先通过活性炭吸附到达一定浓度后，再进入催化燃烧系统，相对于直接进入催化燃烧系统，将可以大大的节省能源的消耗。

活性炭吸附器又可称为活性炭吸附器、活性炭吸附过滤器、活性炭吸附箱。是一种废气过滤吸附异味的环保设备产品，活性炭吸附塔塔体可用不锈钢、碳钢、PP板等材质制作。活性炭吸附塔具有吸附、适用面广、维护方便、能同时处理多种混合废气等优点，活性炭具有去除甲醛、苯、TVOC等***气体和消毒除臭等作用。

?光氧催化废气处理

光氧催化废气处理：采用高能高臭氧紫外紫外线束，恶臭、恶臭气体如氨和胺、、和甲硫醇、甲硫醚、二二硫化物、和、、挥发性有机物，分子链结构苯、、、有机或无机高分子有臭化合物分子链，在太阳紫外线的高能束照射下，降解为低分子化合物，如CO2、H2O等。利用高能紫外线束打破恶臭气体中***的分子键，******的核酸（DNA），然后通过臭氧进行氧化反应，完全达到除臭杀菌的目的。有机废气的净化效果非常理想。投入成本和运行成本也相对较低，但浓度在300-500mg/m3以上的废气处理不太，需要与其他废气处理工艺相结合。特别是对于涂料行业来说，因为有很多漆雾会附着在灯管上，大大降低了光氧设备的效率，前面必须有窗帘柜或喷淋塔来处理漆雾。

有机废气VOC?系统架构

有机废气VOC系统架构：

有机废气 VOC 排放过程(工况)监控系统主要由企业端VOC排放过程监控系统和环保局监控平台两部分构建，企业端 VOC排放过程监控系统包含VOCs 在线监测子系统、4G视频数据采集子系统、排放过程监控子系统。VOCs在线监测子系统主要是实现连续获取准确、完整的VOC 监测数据。4视频数据采集子系统实现现场数据的采集、存储、视频监测、无线传输等功能。现场VOC 排放过程监控子系统实现依据生产工艺建立的关键环节工艺监控、数据审核、异常报警和趋势预警功能，并运用相关模型对有机废气排放在线监测数据进行分析，对污染治理设施运转状态进行统计。

环保局监控平台采用B/S 体系架构，以依据一企一策(VOC生产工艺差异大，治理工艺不同)中生产工艺建立的关键环节工艺监控为，形成依据同行业类似生产工艺的分类过程监控方式，根据工艺情况，从产生环节(电流、电压数据)、治理环节(阀、泵、风机等开关信号)和排放环节(VOCs 参数浓度、流量等数据)分别进行采集，通过4G 视频数据采集子系统实时传到监控中心，监控平台实现对现场端数据汇总、报警管理、数据分析等业务功能。监控平台末端控制主要是过程监控数据的应用，体现为有机废气排放在线监测数据的准确性和可靠性判定、排放总量核定、有机废气排污费的核算等方面。